Scanning Probe Microscope即掃描探針顯微鏡，也可以稱是表面分析儀器。是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品 。

當(dāng)然除了掃描探針顯微鏡,還有原子力顯微鏡AFM,激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM等等一系列的高科技產(chǎn)品。

在此著重說明掃描探針顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)與缺點(diǎn)：

1.它的較大優(yōu)點(diǎn)便是可以成三維的樣品表面圖像，還可對材料的各種不同性質(zhì)進(jìn)行研究。
2.極高的分辨率
3.使用環(huán)境寬松
4.應(yīng)用領(lǐng)域是寬廣
5.價(jià)格相對于電子顯微鏡等大型儀器來講是較低的

然事物不都是完美的，它也有缺陷的地方
1.掃描速度受到限制， 測效率較其他顯微技術(shù)低
2.不可以像電子顯微鏡的大范圍連續(xù)變焦
3.定位和尋找特征結(jié)構(gòu)比較困難
4.對樣品表面的粗糙度有較高的要求
5.探針的幾何寬度、曲率半徑及各向異性會引起成像的失真